第49章 第一枚神之芯(2 / 2)

曝光(Exposure): 来了!晶圆被送入光刻机的真空腔体内。在第48章中被制造出来的双工件台,以10G的恐怖加速度瞬间完成交换与定位,精度锁定在0.1纳米!紧接着,那束被完美镜组聚焦的、功率高达400瓦的EUV光束一闪而过,精准地将掩膜版上的图案“复印”到了光刻胶上。整个过程不到0.1秒。

显影(developnt): 晶圆被送出,用特殊化学试剂洗去被光照射过的光刻胶,留下电路图案的“保护层”。

刻蚀(Etg): 晶圆被送入等离子体刻蚀机,高能等离子体像微型雕刻刀,将没有光刻胶保护的二氧化硅层精准地刻蚀掉,形成沟槽。

离子注入(dopg): 通过离子注入机,将磷、硼等离子打入暴露出来的硅中,改变其导电属性,形成晶体管的源极和漏极。

光刻胶去除(Strippg): 清洗掉剩余的光刻胶,完成一层晶体管结构的制造。

这个“沉积-涂胶-曝光-显影-刻蚀-注入”的循环,在陈启明的操作下,如同行云流水。

为了构建复杂的3d晶体管结构,以及后续的金属连接层,这个循环需要重复进行上百次,甚至上千次。每一次循环,都在硅片上构建出新的一层“楼房”。

第四步:金属互连(I)。

当数十亿个晶体管在底层被制造完毕后,需要用金属导线将它们连接起来,形成真正的电路。

陈启明采用了最先进的铜互连与大马士革工艺。依然是光刻、刻蚀出沟槽,然后通过电镀的方式将铜填充进去,再通过化学机械抛光(p)将多余的铜磨平。一层又一层,如同构建城市中密密麻麻的立交桥网络。

第五步:测试与切割封装。

经过十几个小时不间断的自动化流程,整片晶圆的制造宣告完成。上面密密麻麻地排列着数百个指甲盖大小的芯片(die)。

晶圆被送到探针台,无数细如发丝的探针自动落下,对每一个芯片进行电学测试。

屏幕上显示的结果让陈启明满意地点了点头:【良率:100%】。

在外界,这是绝对不可能出现的奇迹。但在系统提供的完美环境下,一切都理所当然。

最后,晶圆被激光精准地切割成一个个独立的芯片核心。机械臂将其中一颗夹起,固定在基板上,通过金线连接引脚,最后用黑色的陶瓷材料进行封装。

当所有工序完成,一颗通体黝黑、闪烁着金属引脚光泽的方形芯片,静静地躺在了托盘上。

它看上去平平无奇,和市面上任何一块高端cpU没什么两样。

但陈启明知道,就在这个小小的黑色方块里,集成了超过五百亿个晶体管,蕴含着超越这个时代至少五十年的计算能力。

他伸出手,将这枚芯片轻轻捏在指尖。

它还带着一丝机器的余温,却仿佛承载着一个世界的重量。