第385章 深蓝状况 处理(2 / 2)

楚千澜目光扫过报告中“反向优化技术”的标注:“很好,有先进的经验,我们自然要吸取,但要注意,不要使用有专利保护的技术。对了,放大版光刻产线的研发,有什么困难吗?”

王世杰脸上的振奋稍敛,语气多了几分凝重:“主要难点在光学镜头的国产化适配。

放大版产线的光路设计与原版65纳米光刻机不同,国内厂商生产的镜头在大视场下的成像畸变率始终控制在0.008微米,距离我们要求的0.005微米还有差距。”

他顿了顿,补充道:“张北光团队尝试用女娲系统推演优化镜片镀膜工艺,目前已将畸变率降至0.006微米,还在持续调试,但短期内恐难突破临界值。

另外,伺服电机的高速响应精度也有待提升,高速运转时的扭矩波动会影响工作台定位,进而影响光刻精度。”

楚千澜指尖轻叩桌面,眸色沉静:“光学镜头方面,让恒川机械联合国内顶尖光学厂商组建专项攻坚组,女娲系统会同步提供仿真数据支持,重点优化镀膜层数和材质配比;

伺服电机可以对接龙科院,他们之前协调过军工级电机厂商,或许能提供技术支持。”

他抬眼看向王世杰,语气带着不容置疑的坚定:“这两个核心模块是放大版产线的命脉,必须在年底前攻克。

哪怕投入额外资金,也要确保试产时的精度达标,不能让专利绕开的努力白费。”

王世杰迅速在笔记本上记录:“明白!我这就对接恒川机械和龙科院,成立联合攻坚组,每周同步进度。”

楚千澜微微颔首,换了另一个话题,“两台光刻机的产能如何,现在利用率高么?”

王世杰翻开产能报表,指尖划过数据栏:“65纳米光刻机月产能稳定在2.8万片晶圆,通过多重曝光技术生产45纳米芯片时,月产能会降至1.9万片;

180纳米光刻机产能在3万片左右,至于复刻的280纳米光刻机,并没有启用。

各个关联公司的订单,大概能满足65纳米光刻机75%的产能。

因为被半导体巨头围剿的缘故,很多代工订单都被取消。现在也只有龙科院旗下的部分芯片订单会拿到我们这里生产。”

楚千澜指尖在桌沿轻轻敲击,眸色沉了几分:“产能利用率75%有些偏低,不能让设备闲置。你与曲总沟通一下,那些接受星途EDA工具与星象指令集授权的公司,应该会有订单产生。”

他顿了顿,补充道:“龙科院的订单要保住,但不能过度依赖。

另外,你联系一下沈院士,看看能否将那台250纳米光刻机处理掉。此事要私下里进行,也不要与深蓝半导体有任何牵连。”

王世杰握着笔记本的手指微微一顿,眼中闪过一丝诧异:“处理250纳米光刻机?楚总,这台设备虽然制程落后,但在国内仍有不少中小厂商有需求,直接处理会不会太可惜?”